[请教]取样器的清洗?多晶硅生产过程中三氯氢硅和四氯化硅取样分析后，对取样器的清洗非常麻烦。

发布时间:2024-12-14 01:26:08浏览数:

[请教]取样器的清洗?多晶硅生产过程中三氯氢硅和四氯化硅取样分析后，对取样器的清洗非常麻烦。
依次用氮气、水、10%的氢氧化钠、水、高纯水、高纯氮气清洗吹扫。
也可以设计一个清洗吹扫装置。
一般都是遥遥密闭的取样器，较不要拿水清洗，如果有残余的硅烷的话会剧烈反应的。可以先用氮气吹扫，然后用负压装置吹扫，然后就是直接密闭起来！取样瓶都限定遥遥的，放样完就可以密封起来。
以上只是限于一般生产的取样器产品，遥遥取样器的技术都很成熟，技术水平也相对的提高，对于取样器的生产，都相接遥遥取样完毕直接自动吹扫，根本不用再清洗的。